Cumpunenti di Vacuum High Temperature
U trattamentu termale include principalmente prucessi di ossidazione, diffusione è annealing.L'ossidazione hè un prucessu additivu in u quali i wafers di siliciu sò posti in un furnace à alta temperatura è l'ossigenu hè aghjuntu per reagisce cun elli per furmà silice nantu à a superficia di l'ostia.A diffusione hè di trasfurmà e sustanzi da l'area di cuncentrazione alta à a regione di cuncentrazione bassa per mezu di u muvimentu termale moleculare, è u prucessu di diffusione pò esse usatu per dopà sustanzi doping specifichi in u sustrato di siliciu, cambiando cusì a conduttività di i semiconduttori.
